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超純水在集成電路工業(yè)中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體原材料與工業(yè)器皿的清洗和光刻掩模版的制備以及作為硅片氧化用的水汽源等。另外，在薄膜和印刷電路、厚膜電路與其他固態(tài)電子器件以及真空管的制作都會(huì)使用超純水。

一、超純水制造的工藝流程

（一）預(yù)處理部分　　預(yù)處理主要是指對(duì)原水進(jìn)行有效的加工處理，提取符合RO 部分的要求進(jìn)行給水，預(yù)處理主要是用來將原水中的膠體和懸浮物進(jìn)行去除，從而使得SDI≤5；同時(shí)，將游離氯等氧化性物質(zhì)、部分有機(jī)物等去除，從而降低LSI，防止出現(xiàn)各種碳酸鹽結(jié)垢。在超純水制造工藝中，常用的傳統(tǒng)方式主要是利用多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器來作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分。而半導(dǎo)體廠主要采用粗過濾器+超濾裝置來作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，具體原因如下：①由于傳統(tǒng)的處理方式 SDI 值不能有效的進(jìn)行控制，一般情況下SDI>5，不利于后期的系統(tǒng)運(yùn)行，而采用超濾裝置的SDI 就比較穩(wěn)定，則可以有效的保證后期系統(tǒng)的運(yùn)行；②與傳統(tǒng)的預(yù)處理相比，超濾裝置的占地面積比較少，可以有效的節(jié)約建筑費(fèi)用與成本；③與傳統(tǒng)的處理方式相比，超濾裝置的更換更為方便；④伴隨著超濾技術(shù)的不斷深入與發(fā)展，超濾技術(shù)得到了進(jìn)一步的完善，均能穩(wěn)定安全的進(jìn)行運(yùn)行，且超濾膜的價(jià)格明顯降低，在一次性投資與維護(hù)費(fèi)用上與傳統(tǒng)的預(yù)處理相差不多。

（二）反滲透部分　　在反滲透部分主要使用雙級(jí)反滲透工藝，可以有效的確保后續(xù)工藝的穩(wěn)定性與安全性。雙級(jí)反滲透不僅可以將原水中的 99%的懸浮物和膠體進(jìn)行去除，還可以去除98%以上的溶解鹽、微生物、部分CO2以及TOC。其中雙級(jí)反滲透工藝主要是將雙級(jí)反滲透進(jìn)行拆分，這樣就可以有效的確保系統(tǒng)運(yùn)行的連續(xù)性，即使再進(jìn)行更換反滲透膜或者清洗中，就不會(huì)導(dǎo)致整個(gè)工廠進(jìn)行停水，可保證關(guān)鍵部分進(jìn)行持續(xù)用水，在一級(jí)反滲透前增加SBS和MDC等裝置，可以有效的確保一級(jí)反滲透系統(tǒng)安全的運(yùn)行；而對(duì)一級(jí)與二級(jí)反滲透之間添加加堿裝置可以有效的提高對(duì)原水的CO2 去除。

（三）電去離子部分　　在對(duì)反滲透出水中進(jìn)行深度脫鹽時(shí)，電阻率能一般要大于15MΩ?cm，近年來，最常用的兩種電去離子深度除鹽裝置有EDI、CEDI等這兩個(gè)模塊。

（四）拋光混床部分　　由于超純水對(duì)水質(zhì)的要求比較高，所以在純水箱后的輸送管道上添加拋光混床，這樣就可以有效的確保超純水系統(tǒng)在產(chǎn)水的過程中比較穩(wěn)定，而在實(shí)際應(yīng)用中，一般都采用雙級(jí)拋光混床。

（五）UV殺菌器、TOC 脫除器　　在電去離子部分前一般會(huì)布置UV殺菌器，紫外線波長為254nm，可有效的將水中的微生物與細(xì)菌殺死，避免細(xì)菌污染。而TOC脫除器主要布置在拋光混床前，紫外線的波長為185nm催化，通過對(duì)水中的有機(jī)物進(jìn)行有效的氧化降解，從而確保產(chǎn)水的TOC<100ppb。

二、超純水系統(tǒng)管道施工

在超純水系統(tǒng)中的CPVC、PVDF是比較特殊的管道施工工藝，在金屬離子、有機(jī)碳的析出、無微細(xì)粒子以及無活菌繁殖等中，CPVC、PVDF都可以有效的滿足超純水系統(tǒng)的要求，其中管材的加工封裝和附件的加工封裝等都是在超潔凈環(huán)境中實(shí)行的，因此這兩種管道的施工具有一定的特殊性。在超純水系統(tǒng)中的CPVC主要通過HP-PVC、CLEAN-PVC等方式進(jìn)行膠水粘接，需要注意的是不可混用。其中在切口的毛刺一定要進(jìn)行清理干凈，并對(duì)管道專用的倒角器進(jìn)行內(nèi)外倒角，防止被刮，降低因人為操作不當(dāng)導(dǎo)致管道粘接部位泄漏等情況發(fā)生，同時(shí)一定要將管道粘接面涂膠涂均勻，在進(jìn)行涂膠之前，應(yīng)先用白布將外表存在著的灰塵進(jìn)行去除，隨后再用無塵布蘸丙酮進(jìn)行清洗。

除此之外，更重要的一點(diǎn)就是CPVC 管道的潔凈施工，這也就是與其他管理施工存在的最大區(qū)別。由于CPVC 管道粘接施工比較嚴(yán)格，在進(jìn)行清潔時(shí)，應(yīng)先用進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)連接，但是由于施工現(xiàn)場(chǎng)比較特殊，管道往往要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行粘接安裝，粘接施工的時(shí)候禁止在地面進(jìn)行安裝，應(yīng)在加工平臺(tái)上進(jìn)行操作，但需要注意的是，施工現(xiàn)場(chǎng)要保持相對(duì)干凈，施工時(shí)要佩戴一次性手套，施工中要禁止徒手與管道進(jìn)行接觸，在插入管道時(shí)應(yīng)使用緊線器來確保劃線插入的深度是否符合標(biāo)準(zhǔn)，在管道插入后需要保持一兩分鐘。PVDF 管道主要采用焊接的方式進(jìn)行連接。在施工的過程中要嚴(yán)格注意周圍環(huán)境的清潔，在焊接時(shí)應(yīng)在潔凈的小室內(nèi)進(jìn)行，不得在一般的房間進(jìn)行施工，在進(jìn)入潔凈的小室內(nèi)時(shí)應(yīng)套用專用的鞋，而管口、附件等在間外應(yīng)進(jìn)行封口，不得外露，針對(duì)管件的包裝材料必須在施工前方可開封，在焊接時(shí)應(yīng)帶一次性潔凈PVC手套，使用之前應(yīng)利用異丙醇、酒精等對(duì)管端使用無塵潔凈布進(jìn)行清洗。輔助的焊接人員應(yīng)佩戴潔凈棉的手套，在焊接完后應(yīng)對(duì)每個(gè)焊口進(jìn)行仔細(xì)的檢查，在檢查、確認(rèn)完畢后對(duì)焊口進(jìn)行封存，在運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行法蘭連接，其中法蘭間的密封材料主要使用 PTFE。在進(jìn)行管道連接時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)量取尺寸，制定加工安裝圖，再由管道焊接進(jìn)行加工。

綜上所述，對(duì)于超純水系統(tǒng)的施工中，除了要確保管道的封閉性，更要注意管道的施工潔凈，所以在施工過程中一定要加強(qiáng)管理，提升施工人員的潔凈意識(shí)，嚴(yán)格按照潔凈施工的要求進(jìn)行管道施工，從而保證施工質(zhì)量，使得處理水質(zhì)達(dá)到預(yù)期的效果，進(jìn)而滿足業(yè)主的需求。